API激光干涉儀線性定位誤差測量

API激光干涉儀線性定位誤差測量

舊的方法：

激光頭安裝在機床工作臺之外，機床所受的震動干擾和激光頭的不同，產生測量誤差。特別是在帶有空氣彈簧減震系統的機器上
三點對光，操作復雜
依靠電腦上的光強條的強弱來對, 余弦差較大

API XD干涉儀的測量方法:
一次安裝也可同時測量其它五個參數;
可利用電腦中的直線度實時顯示,
數字化去除余弦差，測量準確;
兩點調光，對光迅速
 

主要特點：

一次安裝能測量6項精度指標
包括線性定位誤差、 XX及YY兩個方向直線度、
偏擺角、俯仰角、滾動角
把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
兩點調光線. 無需三腳架. 測量調整簡單快速
傳統激光干涉儀測量20項精度指標(三軸)，約需3天的時間； API干涉儀只約需半天!
測量直線度/小角度/垂直度/轉臺時, 不怕斷光, 可當自準直儀用, 用于機床裝配調試

5D/6D高精密型： 
1. 線性：0.2ppm 
2. 測量范圍：根據用戶要求而定 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 
4. 大范圍：500角秒 
5. 滾動角精度：0.5角秒 
6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um 
7. 大范圍：100um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg